--- 产品参数 ---
- 注释 更多详细产品信息,请联系我们获取
--- 产品详情 ---
CHOTEST中图仪器SuperViewW1白光干涉轮廓仪是以白光干涉技术原理,对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
应用领域
SuperViewW1白光干涉轮廓仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
技术指标
型号 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系统 | 1024×1024 | |
干涉物镜 | 标配:10× 选配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
光学ZOOM | 标配:0.5× 选配:0.375×、0.75×、1× | |
标准视场 | 0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×) | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移动范围 | 140×100㎜ | |
负载 | 10kg | |
控制方式 | 电动 | |
Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 电动 | |
形貌重复性 | 0.1nm | |
粗糙度RMS重复性 | 0.005nm | |
台阶测量 | 准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ) | |
可测样品反射率 | 0.05%~100% | |
主机尺寸 | 700×606×920㎜ |
产品功能
1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
结果组成:
1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;
3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;
5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;
6、微电子表面分析和MEMS表征。
针对芯片封装测试流程的测量需求,SuperViewW1白光干涉轮廓仪的X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围,可覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。
白光干涉仪是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域,除了白光干涉仪,其它仪器达不到检测的精度要求。
为你推荐
-
全自动光学影像仪产品零部件全检测量仪2024-07-05 15:14
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
国产白光显微干涉三维形貌检测仪2024-07-05 15:12
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图精密粗糙度轮廓一体机SJ5800高精度测量2024-07-05 15:09
产品型号:SJ5800系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
CNC数控机床工件测头自动找正分中测量系统2024-07-05 10:16
产品型号:PO系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
超高精度国产三次元3D坐标测量仪器2024-07-05 10:14
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
国产探针式膜层厚度表面粗糙度台阶仪品牌2024-07-05 10:12
产品型号:CP200 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图高精度三坐标系列测量仪Mars三坐标测量机2024-07-04 14:14
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
SuperViewW高精度微纳米白光干涉三维形貌仪2024-07-04 14:13
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
SJ5800国内表面轮廓粗糙度仪一体机品牌2024-07-04 14:10
产品型号:SJ5800系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图激光扫描3D光学影像测量仪+智能AI自动寻边技术2024-07-04 10:37
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
激光跟踪仪测出来的是什么?GTS激光跟踪仪全方位测量能力解析2024-07-04 10:27
-
粗糙度轮廓仪功能简介:SJ5800一体型轮廓仪功能亮点2024-07-03 10:38
-
三维轮廓仪测粗糙度:SuperView W光学3D表面轮廓仪功能详解2024-07-03 10:21
-
智能制造新动力:三坐标测量机助力柔性生产效率飞跃2024-07-02 10:18
-
中图仪器AI影像测量技术与智能化生产线的融合2024-07-01 15:20
-
三坐标测量机:柔性生产制造中的高精度测量解决方案2024-07-01 15:18
-
共聚焦显微镜有什么用?2024-06-24 09:58
-
表面粗糙度用什么仪器测量?2024-06-24 09:50
-
AI影像测量:开启测量仪器的智能之眼2024-06-20 08:08
-
影像测量仪:Novator系列可测量项目详解2024-06-14 09:43
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23
-
数控机床测头提升新能源汽车部件加工良品率2023-09-06 14:20