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--- 产品详情 ---
激光干涉仪系统具有高精度、高灵敏度、非接触式测量等优点,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。可作为长度基准以及设备校准工具。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。
在SJ6000激光干涉仪系统动态测量软件配合下,还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

部分技术指标
主机
稳频精度:0.05ppm
动态采集频率:50 kHz
预热时间:≤ 6分钟
工作温度范围:(0~40)℃
存储温度范围:(-20~70)℃
环境湿度:(0~95)%RH
环境补偿单元
空气温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
材料温度传感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃
空气湿度传感器:±6%RH (0~95)%RH
大气压力传感器:±0.1kPa (65~115)kPa
线性测量距离:(0~80)m (无需远距离线性附件)
角度测量范围:测量范围:±10°
平面度测量范围:±1.5mm

功能特点
精度高
SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。
功能广
(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;
(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
(6)支持手动或自动进行环境补偿。
产品配置
SJ6000激光干涉仪具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。

SJ6000激光干涉仪系统自动采集数据,避免人为读数误差,精度高;使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)。
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