--- 产品参数 ---
- 注释 如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
--- 产品详情 ---
单频激光干涉仪sj6000自动采集数据,避免人为读数误差,精度高;测量过程全自动化,效率高;可测量任意方向的回转轴,可测量任意角度间隔,通用性强;可自动生成误差曲线和补偿数据,根据不同标准自动计算定位精度结果,无需人工计算。
单频激光干涉仪sj6000结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
性能特点
1.测量精度高、速度快,稳定性好
(1)单频激光干涉仪sj6000使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
(2)以光波长为测量单位,分辨率可达nm级
(3)使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
(4)配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
(5)分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
(1)可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
(2)结合软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
(3)可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
(1)使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
(2)将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
(3)向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
产品配置
SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
主要镜组图
其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。
线性测量功能
线性测量(线性轴位置精度测量的简称)配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成,可满足0~80m范围内的线性测量。其中,线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。
广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。
sj6000激光干涉仪具有高精度、高灵敏度、非接触式测量等优点,集光、机、电、计算机等技术于一体,在计量领域中可作为长度基准以及设备校准工具。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。
为你推荐
-
高性能螺纹环规测长仪2024-11-26 17:41
产品型号:SJ5100系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
接触式薄膜台阶测量仪2024-11-26 17:36
产品型号:NS系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
光学3D表面形貌仪2024-11-26 17:34
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
AI智能寻边全自动影像测量仪2024-11-25 16:19
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图粗糙度轮廓度仪器2024-11-25 16:17
产品型号:SJ5800系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图chotest共聚焦显微镜2024-11-25 16:15
产品型号:VT6000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
晶圆几何参数测量设备2024-11-25 16:13
产品型号:WD4000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
4nm分辨率台式扫描电镜2024-11-25 16:10
产品型号:CEM3000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
机床导轨三坐标激光干涉测量仪2024-11-22 15:44
产品型号:SJ6000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图全自主化三坐标测量机2024-11-22 15:42
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
触针式轮廓仪在轴承滚子测量中的应用2024-11-20 01:02
-
大尺寸部件安装精度测量:GTS激光跟踪仪的解决方案2024-11-19 17:34
-
激光跟踪仪基本工作原理及应用2024-11-15 16:31
-
粗糙度轮廓仪的测量原理是怎样的2024-11-13 14:55
-
影像测量仪操作指导书2024-11-07 13:38
-
台式扫描电镜:微观尺度形貌观测和分析利器2024-11-04 11:29
-
三坐标测量机在工业4.0浪潮下的可持续发展未来2024-11-04 11:24
-
光学3D表面轮廓仪:满足多元超精密微观尺寸测量需求2024-11-01 15:50
-
一文解析三坐标测量机对智能制造的影响2024-11-01 15:44
-
中图仪器武汉技术交流会圆满举办2024-10-27 08:01
-
大尺寸部件安装精度测量:GTS激光跟踪仪的解决方案2024-11-20 14:52
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23