--- 产品参数 ---
- 注释 如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
--- 产品详情 ---
共焦显微镜系统所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。VT6000共聚焦激光显微镜技术以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,在相同物镜放大的条件下,所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。

应用领域
VT6000共聚焦激光显微镜技术可对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范例:
产品特点
1)结构简单:仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成,控制单元集成在设备主机之内,亦可采用笔记本电脑驱动,实现了“拎着走"的便携式设计;
2)真彩图像:配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像,对细节的展现纤毫毕现;
3)操作便捷:采用全电动化设计,并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换,图像视窗和分析视窗同界面的设计风格,实现了所见即所得的快速检测效果;
4)VT6000共聚焦激光显微镜技术采用自研的电动鼻轮塔台,并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化,确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。

功能特点
1、测量模式多样
单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择,适应多种现场应用环境;
2、双重防撞保护功能
Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能,双重保护;
3、分析功能丰富
3D:表面粗糙度、平整度、孔洞体积、几何曲面、纹理方向、PSD等分析;
2D:剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。
应用场景
1、镭射槽
测量晶圆上激光镭射槽的深度:半导体后道制造中,在将晶圆分割成一片片的小芯片前,需要对晶圆进行横纵方向的切割,为确保减少切割引发的崩边损失,会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽,在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。

2、光伏
在太阳能电池制作工程中,栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力,直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外,太阳能电池制作过程中,制绒作为关键核心工艺,金字塔结构的质量影像减反射焰光效果,是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力,能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。

3、其他

部分技术指标
型号 | VT6100 | |
行程范围 | X | 100mm |
Y | 100mm | |
Z | 100mm | |
外形尺寸 | 520*380*600mm | |
仪器重量 | 50kg | |
测量原理 | 共聚焦光学系统 | |
显微物镜 | 10×;20×;50×;100× | |
视场范围 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
高度测量 | 重复性(1σ) | 12nm |
显示分辨率 | 0.5nm | |
宽度测量 | 重复性(1σ) | 40nm |
显示分辨率 | 1nm | |
XY位移平台 | 负载 | 10kg |
控制方式 | 电动 | |
Z0轴扫描范围 | 10mm | |
物镜塔台 | 5孔电动 | |
光源 | 白光LED |
如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
为你推荐
-
超高精度激光干涉仪2025-02-19 14:59
产品型号:SJ6000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
材料共聚焦显微测量系统2025-02-19 14:56
产品型号:VT6000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
全自动闪测影像仪2025-02-19 14:51
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
机床装调精度激光跟踪测量仪2025-02-19 14:47
产品型号:GTS系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
cnc三坐标测量机2025-02-19 14:45
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
国内高分辨力扫描电镜2025-02-19 14:44
产品型号:CEM3000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
台式光学轮廓测量仪2025-02-17 16:23
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
高精度自动闪测仪2025-02-17 16:20
产品型号:VX8000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
动态目标跟踪定位仪2025-02-17 16:17
产品型号:GTS系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
桥式机三坐标测量仪2025-02-17 16:16
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
扫描电镜能测定什么元素?2025-02-20 11:40
-
扫描电镜SEM是什么?2025-02-20 11:38
-
影响激光跟踪仪的精度因素有哪些?2025-02-20 11:35
-
闪测仪和2.5次元的区别是什么2025-02-17 16:02
-
桌面式扫描电镜是什么?2025-02-12 14:47
-
材料的哪些性质会影响扫描电镜下的成像效果?2025-02-12 14:45
-
扫描电镜有哪些作用?2025-02-12 14:42
-
中图仪器祝您开工大吉!这份仪器开机指南请查收2025-02-07 14:19
-
CEM3000系列台式扫描电镜在金属材料分析中的应用2025-01-20 11:36
-
关于机床测头常见的提问及回答2025-01-17 14:55
-
方案上新|轴承行业测量解决方案免费下载2024-11-28 16:42
-
大尺寸部件安装精度测量:GTS激光跟踪仪的解决方案2024-11-20 14:52
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26