--- 产品参数 ---
- 注释 如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
--- 产品详情 ---
WD4000无图晶圆几何形貌测量设备采用高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术,完成非接触式扫描并建立3D Mapping图,实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反应表面形貌的参数。

通过非接触测量,WD4000无图晶圆几何形貌测量设备将晶圆的三维形貌进行重建,强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度,TTV、BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。
产品优势
1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量
WD4000无图晶圆几何形貌测量设备集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组,使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。
2、高精度厚度测量技术
(1)采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。
(2)搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘,晶圆规格最大可支持至12寸。
(3)采用Mapping跟随技术,可编程包含多点、线、面的自动测量。
3、高精度三维形貌测量技术
(1)采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法,Z向分辨率高可到0.1nm;
(2)隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声,获得高测量重复性。
(3)机器视觉技术检测图像Mark点,虚拟夹具摆正样品,可对多点形貌进行自动化连续测量。
4、大行程高速龙门结构平台
(1)大行程龙门结构(400x400x75mm),移动速度500mm/s。
(2)高精度花岗岩基座和横梁,整体结构稳定、可靠。
(3)关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动,搭配分辨率0.1μm的光栅系统,保证设备的高精度、高效率。
5、操作简单、轻松无忧
(1)集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。
(2)具备双重防撞设计,避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。
(3)具备电动物镜切换功能,让观察变得快速和简单。

WD4000可广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
应用场景
1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量

通过非接触测量,将晶圆上下面的三维形貌进行重建,强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV),有效保护膜或图案的晶片的完整性。
2、无图晶圆粗糙度测量

Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像,用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片,细磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次测量数据计算重复性为0.046987nm,测量稳定性良好。
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
部分技术规格
品牌 | CHOTEST中图仪器 |
型号 | WD4000 |
厚度和翘曲度测量系统 | |
可测材料 | 砷化镓 ;氮化镓 ;磷化 镓;锗;磷化铟;铌酸锂;蓝宝石;硅 ;碳化硅 ;玻璃等 |
测量范围 | 150μm~2000μm |
扫描方式 | Fullmap面扫、米字、自由多点 |
测量参数 | 厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度 |
三维显微形貌测量系统 | |
测量原理 | 白光干涉 |
干涉物镜 | 10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个) |
可测样品反射率 | 0.05%~100 |
粗糙度RMS重复性 | 0.005nm |
测量参数 | 显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数 |
膜厚测量系统 | |
测量范围 | 90um(n= 1.5) |
景深 | 1200um |
最小可测厚度 | 0.4um |
红外干涉测量系统 | |
光源 | SLED |
测量范围 | 37-1850um |
晶圆尺寸 | 4"、6"、8"、12" |
晶圆载台 | 防静电镂空真空吸盘载台 |
X/Y/Z工作台行程 | 400mm/400mm/75mm |
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
为你推荐
-
中图仪器2.5次元影像仪2025-02-27 15:58
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
非接触式3D白光干涉仪2025-02-27 15:54
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
一键快速图像尺寸测量仪器2025-02-27 15:50
产品型号:VX8000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
国内激光跟踪仪设备2025-02-27 15:46
产品型号:GTS系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
全自主化国产三坐标测量机2025-02-27 15:44
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
高分辨率国产SEM电镜2025-02-27 15:42
产品型号:CEM3000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
0.01μm分辨力全自动光栅测长机2025-02-25 14:11
产品型号:SJ5100系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
激光位移跟踪检测仪2025-02-25 14:06
产品型号:GTS系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
复合型三次元坐标测量机2025-02-25 14:04
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
台式钨灯丝扫描电镜2025-02-25 14:01
产品型号:CEM3000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
精密几何测量技术在电子芯片制造中的重要性2025-02-28 14:23
-
激光跟踪仪的检测功能与应用实例2025-02-24 09:48
-
SEM是扫描电镜吗?2025-02-24 09:46
-
扫描电镜能测定什么元素?2025-02-20 11:40
-
扫描电镜SEM是什么?2025-02-20 11:38
-
影响激光跟踪仪的精度因素有哪些?2025-02-20 11:35
-
闪测仪和2.5次元的区别是什么2025-02-17 16:02
-
桌面式扫描电镜是什么?2025-02-12 14:47
-
材料的哪些性质会影响扫描电镜下的成像效果?2025-02-12 14:45
-
扫描电镜有哪些作用?2025-02-12 14:42
-
方案上新|轴承行业测量解决方案免费下载2024-11-28 16:42
-
大尺寸部件安装精度测量:GTS激光跟踪仪的解决方案2024-11-20 14:52
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26