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电子发烧友网>电子资料下载>传感与控制>半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展

半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展

2010-01-27 | rar | 555 | 次下载 | 5积分

资料介绍

半导体陶瓷型薄膜气敏传感器,具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点,已经成为近年传感器研究和开发的重点,是未来气敏传感器的发展方向之一。本文介绍了陶瓷型半导体薄膜气敏传感器常见的器件结构、薄膜材料的主要制备方法,部分主要的半导体金属氧化物薄膜气敏材料,以及近期相关的研究进展,并扼要分析了今后的发展方向。
关键词:  薄膜;气敏传感器;半导体金属氧化物;陶瓷
气敏传感器
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