资料介绍
扩散硅系列固态传感器是采用MEMS技术制作的一种新型传感器,内部管芯真正实现了力敏电阻和硅单晶弹性体一体化的结构。具有灵敏度高、线性好、无滞后、反应快等优点。在设计中采用梁-膜或膜-岛的先进结构,使芯片本身具有应力集中、非线性内补偿等特点。并且在芯片的边框上制作零点温漂的电阻补偿网络,使芯片具有最小的零点温漂系数。主要品种有高灵敏度的微压传感器、硅基SOI结构高温低漂移压力传感器、微型硅加速传感器和微量程肌张力传感器等。其中灵敏度最高的品种其量程只有0.5kpa(5cm水柱),而且正面可承受一百倍量程以上的过压而不破坏,为目前国内最高水平。多年来,上述各类传感器为许多工厂、医疗、科研单位广泛使用,受到好评。
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