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为了提高激光跟踪仪的跟踪精度，改善激光跟踪仪性能，根据测量光斑在PSD上的坐标可实现光斑位移测量的原理，研究了提高微位移测量精度的方法，设计出一种由PSD传感器、ADS8556模数转换器和TMS320F28335数字信号处理器构成的高性能微位移测量系统。该系统在硬件设计中引入二阶有源低通滤波器消除了部分噪声干扰；在软件设计中通过误差补偿和数字滤波进一步提高了数据可靠性。
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