电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
光刻机扫描曝光模型
扫描曝光过程的抽象模型如图 1 所示 。激光器发出的脉冲光束经过光路传输系统， 从开口大小可调的狭缝中投影到工件台上， 形成投影光斑 。当曝光场前沿与光斑前沿重合时 ，扫描开始;此后曝光场匀速经过投影光斑;当曝光场后沿与光斑后沿重合时 ，扫描结束 。
光刻机剂量控制器结构
扫描投影光刻机剂量控制系统如图 2 所示 ，从准分子激光器发出的脉冲激光， 先经过底端照明光路（包括光束扩充镜组、定位 定向镜组、缩放 锥形镜组等）和可变透过率衰减片， 到达能量传感器， 再经过顶端照明光路（包括光能量均匀棒 、扫描狭缝、照明镜组等）、掩模版和投影物镜， 最终投射到硅片表面。光路中安装有一个能量传感器， 测量每个激光脉冲的能量并结合实时调节算法， 计算出下一个单脉冲能量的设定值;最后通过能量 电压转换关系将能量设定值转换成电压设定值， 以达到控制激光器单脉冲能量并保证剂量精度的目的 。
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 基于DSP TMS320C240的电压解耦矢量控制系统 5次下载
- 如何使用FPGA实现矢量控制的高性能交流电机速度伺服控制器 9次下载
- 水利远程流量控制器 3次下载
- X射线剂量仪与电离室探测技术的诊断剂量检测方法 14次下载
- 基于单元串联的无速度传感器矢量控制算法研究_黄哲 0次下载
- 统一电能质量控制器并联侧的改进双滞环电流控制策略研究 1次下载
- SpaceWire总线的流量控制机制研究 0次下载
- 基于矢量控制的高性能交流电机速度伺服控制器的FPGA实现 26次下载
- 基于SVPWM的Vienna整流器矢量控制研究 18次下载
- 并联型电能质量控制器的SVPWM控制 15次下载
- 基于DSP的模糊PID矢量控制变频器的研究 33次下载
- 基于DSP的数字电能质量控制器设计 45次下载
- 多功能电量控制器的设计
- 掩模曝光剂量的精细控制工艺设计
- 基于 VSC 的并联型电能质量控制器控制方法的研究
- 变频器矢量控制技术的特点 608次阅读
- 矢量控制器与正弦波控制器的区别 2251次阅读
- 深紫外光刻复杂照明光学系统设计 807次阅读
- 一文详解光刻机的工作原理 31.2w次阅读
- ASML光刻机的工作原理及关键技术解析 1w次阅读
- 提高光刻机性能的关键技术及光刻机的发展情况 1.2w次阅读
- 如何理解pcb钻孔与紫外线的作用 3324次阅读
- 气体激光器有哪些_气体激光器特点 1.1w次阅读
- 靶式流量控制器结构图_靶式流量控制器的特点 3532次阅读
- TDA7448音量控制器的特性及应用 4543次阅读
- 矢量控制与V/F控制详解 4.4w次阅读
- 光刻机价格多少_还有比光刻机更贵的设备吗 3.6w次阅读
- 一文解析刻蚀机和光刻机的原理及区别 13.2w次阅读
- 光刻机结构组成及工作原理 16.3w次阅读
- 温度测量控制电路 3037次阅读
上传资料赚积分下载排行
本周
- 1TC358743XBG评估板参考手册
- 1.36 MB | 330次下载 | 免费
- 2开关电源基础知识
- 5.73 MB | 11次下载 | 免费
- 3100W短波放大电路图
- 0.05 MB | 4次下载 | 3 积分
- 4嵌入式linux-聊天程序设计
- 0.60 MB | 3次下载 | 免费
- 5DIY动手组装LED电子显示屏
- 0.98 MB | 3次下载 | 免费
- 6基于FPGA的C8051F单片机开发板设计
- 0.70 MB | 2次下载 | 免费
- 751单片机PM2.5检测系统程序
- 0.83 MB | 2次下载 | 免费
- 8基于51单片机的RGB调色灯程序仿真
- 0.86 MB | 2次下载 | 免费
本月
- 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234315次下载 | 免费
- 2555集成电路应用800例(新编版)
- 0.00 MB | 33566次下载 | 免费
- 3接口电路图大全
- 未知 | 30323次下载 | 免费
- 4开关电源设计实例指南
- 未知 | 21549次下载 | 免费
- 5电气工程师手册免费下载(新编第二版pdf电子书)
- 0.00 MB | 15349次下载 | 免费
- 6数字电路基础pdf(下载)
- 未知 | 13750次下载 | 免费
- 7电子制作实例集锦 下载
- 未知 | 8113次下载 | 免费
- 8《LED驱动电路设计》 温德尔著
- 0.00 MB | 6656次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935054次下载 | 免费
- 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
- 78.1 MB | 537797次下载 | 免费
- 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
- 未知 | 420027次下载 | 免费
- 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234315次下载 | 免费
- 5Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233046次下载 | 免费
- 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191186次下载 | 免费
- 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183279次下载 | 免费
- 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
- 未知 | 138040次下载 | 免费
工商网监
评论