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电子发烧友网>电子资料下载>传感与控制>MEMS惯性感测器与陀螺仪感测器的原理、检测及应用介绍

MEMS惯性感测器与陀螺仪感测器的原理、检测及应用介绍

2017-10-21 | rar | 0.1 MB | 次下载 | 免费

资料介绍

  机电系统(MEMS)将机械电子元件整合在微米级小型结构中。运用半导体与微製程技术,透过微机械加工将所有电子元件、感测器和机械元件整合至一片硅基板。MEMS系统的主要元件是机械单元、感测机制以及特定应用积体电路(ASIC)或微控制器。本文简要介绍MEMS加速度计感测器和陀螺仪,并探讨其工作塬理、感测机制以及目前市场上多样化的应用,以及对我们日常生活深远的影响。

  MEMS惯性感测器

  MEMS感测器在许多应用装置中沿一个或多个轴向测量线性加速度,或者环绕一个或多个轴的角速度作为输入以控制系统(如图1)。

  MEMS惯性感测器与陀螺仪感测器的原理、检测及应用介绍

  图1:转角运动与线性运动

  MEMS加速度计感测器通常利用位置测量介面电路测量物体的位移,然后用类比数位转换器ADC)将测量值转换为数位电子讯号,以便进行数位处理;陀螺仪则测量物体因为柯氏力加速(Coriolis acceleration)而产生的共振与位移。

  加速度计工作塬理

  根据牛顿第二定律,物体加速度(m/s2)与受到的合力(N)成正比,与其质量(kg)成反比,而加速度方向与合力相同。

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