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与其它几乎所有的气体不同，氧气有顺磁性。0XYMAT 61型氧分析仪正是利用了这一原理来测量OZ 浓度。在不均匀磁场中，氧分子由于顺磁性，朝强磁场方向移动。当不同氧气浓度的： 二种气体在同一磁场相遇时，他们之间就会产生一个压力差。
微流量传感器中有两个被加热到大约120*C 的镍格栅，这两个镍格栅和两个辅助电阻形成惠斯通电桥。变化的气流导致镍格栅的电阻发生变化。这使电桥产生偏移。该偏移数值大小决定于样气中的氧浓度。微流量传感器位于参比气路中，不直接接触样气，所以样气的导热、比热和样气的内部摩擦对测量结果都不产生任何影响，同时，这也避免了样气对微流量传感器的腐蚀，使得微流量传感器的抗腐性能大大提高。通过变化磁场强度，使得微流量传感器上的背景气流不被检测。仪器摆放的方向因而对测量也无影响。OXYMAT 61型氧分析仪的响应时间非常短。因为样气室直接与样气气路相连，并且体积小，使微流量传感器响应迅速。
注意样气中不能含有尘埃，样气室里不能有冷凝物，这就是为何需要做样气预处理工作。
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