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该文采用至上而下的方式，介绍了应用RF MEMS技术的雷达系统，将雷达子系统与RF MEMS 技术联系起来，具体分析了应用于雷达的RF MEMS 开关、移相器、滤波器和谐振器。同时，文中以开关和移相器为例，讨论了如何提高RF MEMS 雷达的性能：修改空气桥形状可以提高RF MEMS 收发（T/R）组件的功率处理能力，从而减少雷达相控阵的T/R 组件数量;缩短转换时间的RF MEMS 移相器能够应用于高速电扫描阵列;蜿蜒型5 位分布式MEMS 传输线移相器面积仅为5.36 mmx4.72 mm，相比传统移相器长度降低70%，易于实现雷达阵列的小型化。
应用RF MEMS 技术的雷达系统
由图1所示单基地（monostatic）调频连续波雷达的局部原理框图可知，天线连接着限幅器、对射频信号功率放大的功率放大器、对回波信号放大的低噪声放大器、用于变频的振荡器和用于切换的开关。限幅器可以利用RF MEMS 开关的自激励现象实现，与放大器级联的窄带滤波器可以用相互耦合的MEMS 谐振器并联实现，振荡器和开关中也分别包含MEMS 谐振器和开关。高Q 值（》10 000）RF MEMS 谐振器的使用能够增强系统抗冲击性能、减轻雷达重量，使其易于实现小型化。同时，RF MEMS 开关的使用能够有效降低雷达的直流功耗。
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