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微系统是集微型机构、微型传感器，微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微系统具有成本低、体积小、可靠性高、能实现复杂功能、可批量制作、可集成等特点，有广阔的应重量轻。经过十多年的发展，在设计基础、制造技术与应用系统的研究上有许多用前景。成果，正在形成一个新的产业。微系统的习惯术语有：M E MS（ M icro Electro-微机电系统） 或MOEMS （微光机电系统，美国），Micro-Mechanical System，M achine （微机械，日本），MicroSystems （微系统，欧洲）。
微系统为信息化的数字世界与现实自然（模拟） 世界提供接口，正在机电、信息和生化领域内形成一批特征尺度为微米级的产品（器件、系统和工具，包括微结构、微传感器、微执行器以及与IC集成的微系统），为科技发展提供新的技术平台和方法学; 微系统正引起微制造第二。次新的发展，可用类似集成电路的方法制造复杂的、高宽深比的三维微结构，并和集成电路集成，成为集成微系统;微系统是多学科的领域，有Physical MEMS.Optical MEMS.Chem ical M E M S.RF MEMS和Power MEMS等; 微系统还将与纳米技术结合，成为Bio-M EMS.纳米~微系统或纳系统。
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