资料介绍
MEMS惯性传感器作为工业应用领用新兴的应用元件,不论在商业、工业还是军工应用上都有着广阔的应用。文中给出了几种MEMS的在不同领域内的应用范例,并解析了相应的原理,并从一款较常用的MEMS入手提出了对相应领域内的解决思路。
MEMS是微机电系统(Mic ro-Electro-Mechanical SVstems)的英文缩写。它是随着半导体集成电路微细加T技术和超精密机械加T技术的发展而发展起来的,日前MEMS加T技术在传感器制作领域有很多应用.MEMS惯性传感器是一个不错的产品。从最初MEMS线性加速度传感器彻底革新了汽车安全气囊系统开始,从笔记本电脑硬盘保护到航天控制器中更为直观的运动捕捉,各种独特的功能和应用得以实现。
来自MEMS惯性传感器的信息经过处理和积分后,可以提供许多不同类型的位置、方向和运动的输出(见图1)。每种类型的运动都涉及到一系列应用相关的复杂凶素,对此必须加以了解。
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