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MEMS 振荡器已得到了非常广泛的使用，并在很多应用中稳步取代晶体振荡器。MEMS 振荡器与晶体振荡器相比具有诸多显著的优势，例如提高了可靠性和对机械应力的抗力，以及在宽温度范围内保持平稳的性能。MEMS 振荡器还具备一定的灵活性，可通过编程和配置生成多个输出时钟。
在过去的数十年，每当有应用需要稳定的低抖动时钟源时，我们都会使用晶体振荡器。
近年来出现了一种使用MEMS来构建谐振器的新技术。 MEMS 振荡器与晶体振荡器相比具有一些显著的优势。首先，它们能够抵御机械冲击、振动、挠曲和坠落，因而非常坚固和可靠，这要归功于其封装结构对谐振器形成了一种自然保护。第二，MEMS 谐振器具有伪线性温度系数，因而易于补偿；这可确保谐振器整个温度范围（最高可超过 +125°C）内保持稳定的时钟频率 （意味着低 ppm）。
显而易见，这两种特性让MEMS振荡器非常适合一些环境恶劣的工业和汽车应用。
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