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介绍了D07 系列流量控制器的工作原理以及Pro tel DXP 在质量流量控制器产品开发中的应用。 提出了用Pro tel DXP 进行原理图设计、仿真分析、印刷电路板设计的一体化解决方案。 最后通过一个应用实例给出了印制板的设计流程、设计规则及注意事项.
本文所设计的D07 系列流量控制器属于一种工业自动化仪表， 可以对各种气体进行精确的测量和控制， 大量应用于半导体及集成电路生产线上的扩散、氧化、外延、CVD 等离子刻蚀等工序设备中。 目前的设计方法主要是采用传统的Pr otel 设计、制版、焊接和调试， 各个环节分步进行， 设计效率低， 可靠性差， 故障检测困难。 采用Protel DXP 一体化方法可以将上述各个设计环节一次完成， 极大地提高了设计效率和可靠性， 有很好的推广价值.
如图1 所示， 数字流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀和放大控制电路板等部件组成。 气体通过质量流量控制器时， 大部分气体通过分流器， 仅有少量气体流过流量传感器。 分流器由很多细管粘接而成， 作用是使气体通过时处于层流状态， 保证通过分流器的气体与通过传感器的气体成一定比例。 流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理， 如图2 所示。 当无气体通过传感器的传感管时， 惠斯顿电桥上下游电阻相等， 输出的电压信号为零; 当有气体通过传感管时， 气体将传感管上游的热量带到下游， 上下游温度的变化会使传感管上下游的热敏电阻丝阻值发生改变， 从而可以使电桥输出与流量相关的电压信号.
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