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科技的发展给人类带来了很多好处，也给赋予人们更强的能力。如果说机械替代了人类的体力，计算机替代了人类的脑力，那无处不在的传感器就替代了人类的感知能力。自1883年全球第一个恒温器上市为世界带来了首个传感器和传感器技术，到如今传感器技随处可见
。传感器技术作为现代信息技术的三大基础技术之一在当代科技中得到了大量的运用和飞速的发展。
压力传感器能感受压力信号并按一定规律将之转化成电信号的装置。压力传感器由压敏元件和转换电路构成。根据工作原理不同，将压力传感器分为压阻式压力传感器和电容式压力传感器。下面对两类压力传感器做一个详细介绍。
电容式压力传感器
电容式压力传感器的结构采用板壳理论，电容由两电极板组成，其中一块极板固定，保持形状不变；另一极板是一层薄片，可随外部压力改变而产生弹性形变。与另外两端的两个绝缘板一起构成一个密闭气室。原理图如下
在不考虑边缘电场效应的情况下，该电容的容量表达式为
C=Ɛ0ƐrS/d
Ɛ0为真空中的介电常数
Ɛr为介质的相对介电常数
S为两极板的相对面积
d为两极板之间距离
由表达式可以看出想改变电容的容量可以通过改变介质、极板相对面积和极距，而改变极距是最简便的方法。对于压力传感器而言改变极距最普遍的方法，它可以进行动态非接触式测量，灵敏度高，被系统影响小的特点［1］。许多年来，人们对电容压力传感器的设计越来越成熟，从早期易折叠弯曲金属薄片改进为如今的有良好弹性刚性的单晶硅薄片。通过对原理的改良，结构的改进，使现在的传感器发展越来越迅速，性能越来越高，实用性越来越好。
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