资料介绍
静电放电(ESD,Electrostatic Discharge)给电子器件环境会带来破坏性的后果。
它是造成集成电路失效的主要原因之一。随着集成电路工艺不断发展,互补金属氧化物半
导体(CMOS,Complementary Metal-Oxide Semiconductor)的特征尺寸不断缩小,
金属氧化物半导体(MOS, Metal-Oxide Semiconductor)的栅氧厚度越来越薄,MOS 管
能承受的电流和电压也越来越小,因此要进一步优化电路的抗ESD 性能,需要从全芯片
ESD 保护结构的设计来进行考虑。
2 ESD 的测试方法
ESD 模型常见的有三种,人体模型(HBM ,Human Body Model)、充电器件模型
(CDM,Charge Device Model)和机器模型(MM,Machine Mode),其中以人体模型最
为通行。一般的商用芯片,要求能够通过2kV 静电电压的HBM 检测。对于HBM 放电,
其电流可在几百纳秒内达到几安培,足以损坏芯片内部的电路。
它是造成集成电路失效的主要原因之一。随着集成电路工艺不断发展,互补金属氧化物半
导体(CMOS,Complementary Metal-Oxide Semiconductor)的特征尺寸不断缩小,
金属氧化物半导体(MOS, Metal-Oxide Semiconductor)的栅氧厚度越来越薄,MOS 管
能承受的电流和电压也越来越小,因此要进一步优化电路的抗ESD 性能,需要从全芯片
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(CDM,Charge Device Model)和机器模型(MM,Machine Mode),其中以人体模型最
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