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由于 半导体激光器和 新型 光 电位置 检 测 元件 ( 如 C C D 阵列 和 P S D 器件等 ) 的发展 , 使得 以经典的光学三角法为 基本 原理 的激光 三角 位移计在测 量头小型化 、 测 量高精度和高速度等 方面得到 了长足 的进展 。 这种小型化的位移计可方便地用 于多种场合下的高精度位移测 量 , 其 中尤 以在三坐 标测 量机上取代传 统的接触式 测头 以及动态 位移的非接触测量的应用方面具有 广 阔 的前景.l[ 2〕 。 但 目前仍有很多 影响其测量精度的因素 , 如被测表面的颜色 、 材料 、 粗糙度 、 光 学性质和 表面倾斜等 。 前四 种因 素产生 的误 差原则 上可通过标定 的方法使其减少或消 除 , 而表 面倾斜的 影响则 需要在测 量中 同时知道被测 表面 的倾斜角度才能对其误差加 以修正 。 目前尚 无较好的方法能在测 量位移的 同时获得 倾斜角的信息 。 本 文拟在光散射的理论基础 上详细讨 论物体表面倾斜与激光三角位移计接收透镜接收 到 的光功率 的关 系 , 提 出了一种在测量位移 的同时测量倾斜角的方法 , 给出 了计算机模拟及实测结果
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