资料介绍
首先,分析塑性衬底应力对沉积薄膜的稳定性的影响。因衬底和封装薄膜的热膨胀系数不同而产生,并随薄膜沉积温度的升高而增大。当塑性衬底上的薄膜有应力时就容易脱落或破裂,如果没有粘附损失,封装薄膜和塑料衬底间发生的相对热膨胀将导致塑料薄膜产生弯曲。其次,调查塑料热膨胀系数对沉积薄膜的稳定性的影响。总的来说,大多数塑料的热膨胀系数是SiNx的10倍。由于这种巨大的差异,破裂、脱落及弯曲成了塑料衬底显示器制造中必须克服的问题。
2)低电压高亮度白色有机电致发光器件的制备
本研究利用真空蒸发镀膜系统制作各种器件。采用外部和内部CCM两种方法,利用电致发光产生的蓝光,去光致泵浦红色染料薄膜,产生红色的光致发光,最终合成白光,从而实现了低电压、长时间驱动的高度稳定的白光有机器件。另外,通过对外部CCM膜的光刻,实现微显示的图案化。
3)柔性显示器薄膜封装新技术开发
与玻璃衬底相比,塑性衬底具有很高的透气和透水性。衬底的高透气性会导致器件的不稳定性。为了阻止塑料衬底的对气体的吸收,可以采用SiO2、SiNx等薄膜可用来做气体阻挡层。它们不仅阻止了塑料对气体的吸入,还可提高金属与衬底的粘结性。在本项研究中,将采用PECVD系统沉积SiO2或者SixNy等无机气体阻挡层。通过沉积适当厚度的SiO2或者SixNy薄膜,可将氧和水蒸气的透过率降低100倍。
在沉积气体阻挡层之前,必须将塑料衬底在加热到一个合适的温度并保持一定的时间,比如说48小时,以除掉衬底中吸附的气体和水蒸气。这种预退火过程减小了塑料的体积。预退火后,即在衬底上沉积气体阻挡层以阻止衬底进一步吸收气体。
4)微纳器件制造过程中多尺度力学分析
通过研究衬底-气体阻挡层-微纳器件层之间的特性,探讨器件制备过程中界面的变化,同时利用Silvaco或者Anasys软件模拟多尺度的力学过程。
2.1.3拟解决的关键科学问题
该项目的技术关键是如何利用DBR构造将薄膜封装与高亮度结合、以及利用CCM技术将顶发射构造与白色发光结合,从而在柔性基底上制备一个稳定、高效、低能耗的白色有机OLED。
减少透明或者金属电极与有机层之间的注入势垒,提高空穴或者电子的注入效率,从而实现低电压驱动的白色发光器件。在空穴或者传输层掺杂具有很强施主或受主性能的掺杂质,能够大大降低器件的驱动电压。
1)在电荷传输层形成电荷激基复合物,产生自由电荷,这种自由电荷将提高膜的导电率;
2)自由电荷的产生可能导致费米能级的改变,从而提高从金属到有机层的隧道注入效率,甚至形成欧姆接触。
3)自由电荷可以降低深陷阱对电荷的捕获,从而提高有机层电荷的迁移率。
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