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使用暗场成像原理研究激光装置的光学元件损伤在线检测装置的论文

2474220 2019-12-06 | rar | 0.26 MB | 次下载 | 免费

资料介绍

　　利用暗场成像原理，研制成功一套应用于大型激光装置的光学元件损伤在线检测装置，并在多程放大系统上进行了实验研究。与传统的检测手段相比，该检测装置可以实现对光学系统的在线检测，并可对损伤点的图像进行分析处理，最后提出通过减小像差和扩大检测范围的方法来改进该装置的检测效果.

　　在大型激光装置中，光束因非线性效应而产生自聚焦现象。自聚焦将导致光束最终形成高强度的细丝，从而对装置中的光学元件造成损伤，如光学元件表面膜层被破坏、内部形成丝状裂纹等［1～3 ］。这些损伤会产生极大的危害，其主要表现在以下几个方面：（1）光束质量下降; （2）在损伤点产生的热效应会造成光学元件的爆炸;

　　（3）由于光束在损伤点的衍射造成其它光学元件的损伤等。以前对于光学元件损伤的检测，主要利用非激光光源照明并靠人眼来观测，其缺点是费时费力，检测效率低，且有很大的不确定性。利用光学元件损伤在线检测装置，可以对整个光学系统进行在线检测，并可对损伤点的图像进行存储分析。

　　通常，光学元件损伤在线检测装置采用暗场成像技术，以提高系统的分辨率与图像的对比度。所谓暗场成像，就是用主动式光源照明被检的光学元件，如光学元件存在损伤，则损伤点会产生散射光，利用成像光学系统接收损伤点产生的后向散射光，则可在暗背景下观察到明亮的损伤图像。如被检测光学元件无损伤，则视场总是暗场。为了提高光束传输效率，照明光源的波长一般与被检光路的工作波长接近或相同。