资料介绍
双面抛光已成为硅晶片的主要后续加工方法,但由于需要严格的加工条件,很难获得理想
的超光滑表面。设计了硅片双面抛光加工工艺新路线,并在新研制的双面抛光机上对硅晶片进行抛光加
工,实验研究了不同加工参数对桂晶片表面粗糙度和材料去除率的影响。采用扫描探针显微镜和激光数
字波面干涉仪分别对加工后的硅晶片进行测量,实验结果表明:在优化实验条件下硅晶片可以获得表面
粗糙度0.533nm 的超光滑表面。
的超光滑表面。设计了硅片双面抛光加工工艺新路线,并在新研制的双面抛光机上对硅晶片进行抛光加
工,实验研究了不同加工参数对桂晶片表面粗糙度和材料去除率的影响。采用扫描探针显微镜和激光数
字波面干涉仪分别对加工后的硅晶片进行测量,实验结果表明:在优化实验条件下硅晶片可以获得表面
粗糙度0.533nm 的超光滑表面。
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 碳化硅衬底和MEMS晶圆的研磨抛光技术
- 溅射工艺对晶片碎片的影响 2次下载
- 氮化镓晶片的化学机械抛光工艺综述 44次下载
- 化学机械抛光(CMP)技术的发展、应用及存在问题 12次下载
- 化学机械抛光CMP技术的发展应用及存在问题 9次下载
- 硅抛光片(CMP)市场和技术现状 35次下载
- 半导体单晶抛光片清洗工艺分析 49次下载
- 集成电路的制造工艺 44次下载
- 太阳能电池工艺流程及其抛光技术的研究 18次下载
- 单晶硅加工流程及其抛光硅片工艺流程 22次下载
- 基于步进电机的表带抛光研究 1次下载
- ZnSe晶体加工工艺研究 0次下载
- SiC单晶片CMP超精密加工技术现状与趋势 0次下载
- 智能硅晶片贴标机的研制
- 数控加工工艺分析
- 材料认识-硅抛光片和外延片 1056次阅读
- 碳化硅晶片的化学机械抛光技术研究 1346次阅读
- 切割工艺参数对6英寸N型碳化硅晶片的影响 1905次阅读
- 碳化硅晶片的超精密抛光工艺 3536次阅读
- 碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势 1627次阅读
- 碳化硅单晶衬底加工技术的工艺及现状研究 4601次阅读
- 使用单晶片自旋处理器的背面清洁研究 440次阅读
- 蚀刻作为硅晶片化学镀前的表面预处理的效果 588次阅读
- 利用蚀刻法消除硅晶片表面金属杂质 668次阅读
- 详解硅片的研磨、抛光和清洗技术 1.3w次阅读
- 硅晶圆表面的金属及粒子的附着行为 1023次阅读
- 硅晶片的蚀刻预处理方法包括哪些 968次阅读
- 硅抛光片生产工艺流程与光刻的基本 1.3w次阅读
- 研磨与抛光的区别 3.1w次阅读
- MEMS技术加工工艺与IC工艺区别 1w次阅读
下载排行
本周
- 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
- 0.00 MB | 1490次下载 | 免费
- 2单片机典型实例介绍
- 18.19 MB | 92次下载 | 1 积分
- 3S7-200PLC编程实例详细资料
- 1.17 MB | 27次下载 | 1 积分
- 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
- 4.28 MB | 18次下载 | 4 积分
- 5开关电源原理及各功能电路详解
- 0.38 MB | 10次下载 | 免费
- 6基于AT89C2051/4051单片机编程器的实验
- 0.11 MB | 4次下载 | 免费
- 7蓝牙设备在嵌入式领域的广泛应用
- 0.63 MB | 3次下载 | 免费
- 89天练会电子电路识图
- 5.91 MB | 3次下载 | 免费
本月
- 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
- 0.00 MB | 66304次下载 | 免费
- 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下载 | 免费
- 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下载 | 免费
- 5555集成电路应用800例(新编版)
- 0.00 MB | 33562次下载 | 免费
- 6接口电路图大全
- 未知 | 30320次下载 | 免费
- 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下载 | 免费
- 8开关电源设计实例指南
- 未知 | 21539次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935053次下载 | 免费
- 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
- 78.1 MB | 537791次下载 | 免费
- 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
- 未知 | 420026次下载 | 免费
- 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 5Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233045次下载 | 免费
- 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191183次下载 | 免费
- 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183277次下载 | 免费
- 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
- 未知 | 138039次下载 | 免费
评论
查看更多