资料介绍
摘要:对微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)组装与封装工艺的特点进行了总结分析,给出了MEMS组装与封装设备的研究现状。针对MEMS产业发展的特点,分析了面向MEMS组装与封装的微操作设备中的工艺参数优化数据库、快速精密定位、模块化作业工具、快速显微视觉、柔性装夹和自动化物流等关键技术。在此基础上,详细介绍了研制的MEMS传感器阳极化键合设备和引线键合设备的组成结构、工作原理,并给出了组装和封装试验结果。最后,指出了MEMS组装与封装技术及设备研制的发展趋势。
关键词:微机电系统;组装;封装;微操作
关键词:微机电系统;组装;封装;微操作
机电系统
加入交流群
扫码添加小助手
加入工程师交流群
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 基于GPRS无线远程监控系统的关键技术研究
- 步进电机驱动器的关键技术研究
- 机器人操作系统EtherCAT技术研究综述 1次下载
- 高速视觉测量系统关键技术及研究综述 15次下载
- 微波煤脱硫关键技术研究 12次下载
- 微波煤脱硫的关键技术研究 17次下载
- 无线传感器网络关键技术研究综述_曹鹏飞 0次下载
- 智能电网关键技术研究展望 16次下载
- 高速数控加工的前瞻控制理论及关键技术研究 14次下载
- 线性调频基带数字产生的关键技术研究 5次下载
- 基于IPSec的VPN网关关键技术研究 10次下载
- 混频器设计中的关键技术研究 23次下载
- 基于压电陶瓷驱动的微操作手研究 22次下载
- 微机电系统的发展及其应用
- 微机电系统(MEMS) 技术及其应用
- 铜在微机电系统中的应用 909次阅读
- 储能BMS的关键技术是什么 2k次阅读
- 微机电系统(MEMS)的基本工艺和应用 3.8k次阅读
- 5G通信FBAR滤波器镀膜关键技术研究 1.5k次阅读
- 量子计算关键技术研究进展 2.7k次阅读
- 射频微机电系统开关相关介绍 3.2k次阅读
- WCDMA系统中关键技术的分析及应用解决方案 4.3k次阅读
- 芯片的未来靠哪些关键技术? 5.8k次阅读
- MEMS封装技术进行探讨研究与MEMS器件封装优势 1.3w次阅读
- 面向5G的承载网的需求和挑战以及其关键技术 5.1k次阅读
- ofdm关键技术及应用 2.2w次阅读
- NIST开发出微机电系统(MEMS)延迟线内存控制器 1.6k次阅读
- 云计算关键技术与研究问题 1.4k次阅读
- 菲尔斯特的MEMS微机电技术和MPT微组装工艺 2.9k次阅读
- 电网调度微机开票系统的研究和开发 803次阅读
下载排行
本周
- 1MDD品牌三极管BC807数据手册
- 3.00 MB | 次下载 | 免费
- 2MDD品牌三极管BC817数据手册
- 2.51 MB | 次下载 | 免费
- 3MDD品牌三极管D882数据手册
- 3.49 MB | 次下载 | 免费
- 4MDD品牌三极管MMBT2222A数据手册
- 3.26 MB | 次下载 | 免费
- 5MDD品牌三极管MMBTA56数据手册
- 3.09 MB | 次下载 | 免费
- 6MDD品牌三极管MMBTA92数据手册
- 2.32 MB | 次下载 | 免费
- 7STM32G474 HRTIME PWM 丢波问题分析与解决
- 1.00 MB | 次下载 | 3 积分
- 8新能源电动汽车高压线束的铜铝连接解决方案
- 2.71 MB | 次下载 | 2 积分
本月
- 1爱华AIWA HS-J202维修手册
- 3.34 MB | 37次下载 | 免费
- 2PC5502负载均流控制电路数据手册
- 1.63 MB | 23次下载 | 免费
- 3NB-IoT芯片厂商的资料说明
- 0.31 MB | 22次下载 | 1 积分
- 4H110主板CPU PWM芯片ISL95858HRZ-T核心供电电路图资料
- 0.63 MB | 6次下载 | 1 积分
- 5UWB653Pro USB口测距通信定位模块规格书
- 838.47 KB | 5次下载 | 免费
- 6技嘉H110主板IT8628E_BX IO电路图资料
- 2.61 MB | 4次下载 | 1 积分
- 7苏泊尔DCL6907(即CHK-S007)单芯片电磁炉原理图资料
- 0.04 MB | 4次下载 | 1 积分
- 8苏泊尔DCL6909(即CHK-S009)单芯片电磁炉原理图资料
- 0.08 MB | 2次下载 | 1 积分
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935137次下载 | 10 积分
- 2开源硬件-PMP21529.1-4 开关降压/升压双向直流/直流转换器 PCB layout 设计
- 1.48MB | 420064次下载 | 10 积分
- 3Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233089次下载 | 10 积分
- 4电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191439次下载 | 10 积分
- 5十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183353次下载 | 10 积分
- 6labview8.5下载
- 未知 | 81602次下载 | 10 积分
- 7Keil工具MDK-Arm免费下载
- 0.02 MB | 73822次下载 | 10 积分
- 8LabVIEW 8.6下载
- 未知 | 65991次下载 | 10 积分
电子发烧友App





创作
发文章
发帖
提问
发资料
发视频
上传资料赚积分
评论