资料介绍
针对硅在 KOH 中的各向异性腐蚀提出了一个新的物理模型。 此模型从微观角度出发, 根据实际的腐蚀化学反应过程确定了若干微观状态, 提出了反映腐蚀特性的若干微观参数。 将腐蚀温度、浓度等对腐蚀速率的影响也反映了进去。 计算结果与实验结果进行了对比, 表明此模型在解释硅在 KOH 中各向异性腐蚀特性等方面具有一定的合理性。
微电子机械系统(M EM S) 的发展令人瞩目, 它是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。 M EM S 的三维结构, 突破了集成电路平面结构的限制, 从而拓宽了M EM S 的实际应用领域。 为此, 在集成电路平面工艺的基础上, 需要加上特有的体加工工艺技术来实现M EM S的三维结构, 例如各向异性腐蚀技术[ 1 ]等。
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