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一、热循环的通畅
热循环就是气流的循环，从氩气输进到被真空泵抽走的一个循环过程。它的外在显示值即炉压（真空泵的抽速与氩乍输入量的平衡值） 组成部分，1氩气调节整个单晶硅棒拉制中热循环的流量和流速，是在拉晶过程中不可缺少的保护气体。（属性惰性i体特点不易燃烧） 2 真空泵稳压持续抽走炉内的体挥发物，保持炉内真空平衡。由这两个系统所组成热循环系统的作用： 有效的带走炉内沉积的挥发物，防止石墨器件及热场的氧化增加使用寿命。增强成晶硅溶面与内溶液温度差提高成晶速度。降低单晶硅棒在生产过程中的氧碳含量等，从而提高公司的产品质量。
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