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超声波电动机是利用压电材料的逆压电效应激发定子弹性体产生超声频域的振动，并通过摩擦接触驱动与之耦合的动子做旋转或直线运动。超声波电动机具有结构简单、低速大力矩、响应速度快、断电自锁、无噪声和不受电磁干扰等优点，广泛用于精密器械、航空航天、医疗仪器、工业自动化和机器人等高新技术领域。
超声波电动机按运动方式可分为旋转型和直线型。直线超声波电动机具有结构设计灵活、体积小、运动精度高和良好的控制特性，在微机电系统中具有广泛的应用前景。 本文采用三个压电双晶悬臂梁结构代替三个压电叠堆，研制了一种利用PZT d3．模式工作的T型直线超声波电动机。每个压电双晶悬臂梁由两片极化方向相反、工作模式为d31的陶瓷片粘接在金属悬臂梁基板上、下表面构成。当两压电陶瓷在极化方向（3轴）受激励电压作用时，同时在1轴方向产生相反的扩张或收缩变形，在两个反向变形的作用下，悬臂梁的弯曲振动被抑制，只存在沿1轴方向上的伸长或收缩变形。该电动机结构简单，制造方便，成本低廉。
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