电子发烧友App

硬声App

0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示
电子发烧友网>电子资料下载>行业软件>实用工具>WD4000无图晶圆几何量测系统

WD4000无图晶圆几何量测系统

2023-10-25 | docx | 0.79 MB | 次下载 | 免费

资料介绍

晶圆检测机,又称为半导体芯片自动化检测设备,是用于对半导体芯片的质量进行检验和测试的专用设备。它可以用于硅片、硅晶圆、LED芯片等半导体材料的表面检测,通过对晶圆的表面特征进行全面检测,可以有效降低产品的不良率,提高产品的稳定性和可靠性。

一种晶圆表面形貌测量方法-WD4000无图晶圆几何量测系统

WD4000无图晶圆检测机采用高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术,完成非接触式扫描并建立3D Mapping图,实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反应表面形貌的参数

wKgaomU4p9uAIxAjAAH73JVerUk932.png
 

测量功能

1、厚度测量模块:厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;
2、显微形貌测量模块:粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。
3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。
4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等;粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数;结构分析包括孔洞体积和波谷。

WD4000无图晶圆检测机通过非接触测量,将晶圆的三维形貌进行重建,强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度,TTV,BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。

wKgZomU4p9yAR-QRAAQ-1urMgAs398.png

WD4000无图晶圆检测机集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组,非接触厚度、三维维纳形貌一体测量,使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量,助力半导体行业高效生产!
 

下载该资料的人也在下载 下载该资料的人还在阅读
更多 >

评论

查看更多

下载排行

本周

  1. 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
  2. 0.00 MB  |  1494次下载  |  免费
  3. 2单片机典型实例介绍
  4. 18.19 MB  |  97次下载  |  1 积分
  5. 3S7-200PLC编程实例详细资料
  6. 1.17 MB  |  27次下载  |  1 积分
  7. 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
  8. 4.28 MB  |  18次下载  |  4 积分
  9. 5开关电源原理及各功能电路详解
  10. 0.38 MB  |  12次下载  |  免费
  11. 6100W短波放大电路图
  12. 0.05 MB  |  4次下载  |  3 积分
  13. 7蓝牙设备在嵌入式领域的广泛应用
  14. 0.63 MB  |  3次下载  |  免费
  15. 89天练会电子电路识图
  16. 5.91 MB  |  3次下载  |  免费

本月

  1. 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
  2. 0.00 MB  |  234313次下载  |  免费
  3. 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
  4. 0.00 MB  |  66304次下载  |  免费
  5. 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
  6. 0.00 MB  |  51209次下载  |  免费
  7. 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
  8. 0.00 MB  |  51043次下载  |  免费
  9. 5555集成电路应用800例(新编版)
  10. 0.00 MB  |  33564次下载  |  免费
  11. 6接口电路图大全
  12. 未知  |  30320次下载  |  免费
  13. 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
  14. 0.00 MB  |  28588次下载  |  免费
  15. 8开关电源设计实例指南
  16. 未知  |  21540次下载  |  免费

总榜

  1. 1matlab软件下载入口
  2. 未知  |  935054次下载  |  免费
  3. 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
  4. 78.1 MB  |  537793次下载  |  免费
  5. 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
  6. 未知  |  420026次下载  |  免费
  7. 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
  8. 0.00 MB  |  234313次下载  |  免费
  9. 5Altium DXP2002下载入口
  10. 未知  |  233046次下载  |  免费
  11. 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
  12. 340992  |  191183次下载  |  免费
  13. 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
  14. 158M  |  183278次下载  |  免费
  15. 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
  16. 未知  |  138039次下载  |  免费