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微光学与微电子光学装备研制是中国科学院光电技术研究所的重点学科之一，不仅拥有
一支总体设计水平高，光、机、电配套，积累了丰富经验的科研队伍，还拥有一支实力雄厚的试制加工、工艺和测试力量，为研发、生产和拓展微电子装备技术领域奠定了坚实的基础。该所在充分发挥多年从事微细加工光学专用设备产品的攻关与研制的技术优势的同时，坚持走自主创新之路，加强核心技术、共性技术和关键部件的自主创新，重视科技成果的应用和转化，着力把自主创新作为培育新的经济增长点和提升核心竟争力的根本点。近期成功研发的
URE-2000 系列紫外深度光刻机，产品以其特、新、优赢得了社会的赞赏，成为市场倍受欢迎的微细加工光刻设备，项目荣获第二届（2007 年度）中国半导体创新产品和技术奖。
一支总体设计水平高，光、机、电配套，积累了丰富经验的科研队伍，还拥有一支实力雄厚的试制加工、工艺和测试力量，为研发、生产和拓展微电子装备技术领域奠定了坚实的基础。该所在充分发挥多年从事微细加工光学专用设备产品的攻关与研制的技术优势的同时，坚持走自主创新之路，加强核心技术、共性技术和关键部件的自主创新，重视科技成果的应用和转化，着力把自主创新作为培育新的经济增长点和提升核心竟争力的根本点。近期成功研发的
URE-2000 系列紫外深度光刻机，产品以其特、新、优赢得了社会的赞赏，成为市场倍受欢迎的微细加工光刻设备，项目荣获第二届（2007 年度）中国半导体创新产品和技术奖。
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