电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
半导体各工艺简介:1、单晶硅片的制备
CZ法主要工艺工程:
籽晶熔接: 加大加热功率，使多晶硅完全熔化，并挥发一定时间后，将籽晶下降与液面接近，使籽晶预热几分钟，俗称“烤晶”，以除去表面挥发性杂质同时可减少热冲击。
引晶和缩颈：当温度稳定时，可将籽晶与熔体接触。此时要控制好温度，当籽晶与熔体液面接触，浸润良好时，可开始缓慢提拉，随着籽晶上升硅在籽晶头部结晶，这一步骤叫“引晶”，又称“下种”。“缩颈”是指在引晶后略为降低温度，提高拉速，拉一段直径比籽晶细的部分。其目的是排除接触不良引起的多晶和尽量消除籽晶内原有位错的延伸。颈一般要长于
20mm。
放肩：缩颈工艺完成后，略降低温度，让晶体逐渐长大到所需的直径为止。这称为“放肩”在放肩时可判别晶体是否是单晶，否则要将其熔掉重新引晶。单晶体外形上的特征—棱的出现帮助我们判别，<111>方向应有对称三条棱，<100>方向有对称的四条棱。
等径生长：当晶体直径到达所需尺寸后，提高拉速，使晶体直径不再增大，称为收肩。收肩后保持晶体直径不变，就是等径生长。此时要严格控制温度和拉速不变。
收尾： 随着晶体生长结束，采用稍升温，降拉速，使晶体直径逐渐变小，此过程称为收尾。
CZ法主要工艺工程:
籽晶熔接: 加大加热功率，使多晶硅完全熔化，并挥发一定时间后，将籽晶下降与液面接近，使籽晶预热几分钟，俗称“烤晶”，以除去表面挥发性杂质同时可减少热冲击。
引晶和缩颈：当温度稳定时，可将籽晶与熔体接触。此时要控制好温度，当籽晶与熔体液面接触，浸润良好时，可开始缓慢提拉，随着籽晶上升硅在籽晶头部结晶，这一步骤叫“引晶”，又称“下种”。“缩颈”是指在引晶后略为降低温度，提高拉速，拉一段直径比籽晶细的部分。其目的是排除接触不良引起的多晶和尽量消除籽晶内原有位错的延伸。颈一般要长于
20mm。
放肩：缩颈工艺完成后，略降低温度，让晶体逐渐长大到所需的直径为止。这称为“放肩”在放肩时可判别晶体是否是单晶，否则要将其熔掉重新引晶。单晶体外形上的特征—棱的出现帮助我们判别，<111>方向应有对称三条棱，<100>方向有对称的四条棱。
等径生长：当晶体直径到达所需尺寸后，提高拉速，使晶体直径不再增大，称为收肩。收肩后保持晶体直径不变，就是等径生长。此时要严格控制温度和拉速不变。
收尾： 随着晶体生长结束，采用稍升温，降拉速，使晶体直径逐渐变小，此过程称为收尾。
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 半导体后封装工艺及设备 12次下载
- 覆铜基板工艺流程简介 0次下载
- LEADTECK领泰半导体公司简介 4次下载
- 半导体封装制程与设备材料知识简介 185次下载
- MEMS工艺——半导体制造技术 248次下载
- 半导体工艺化学原理 113次下载
- 功率半导体器件物理与工艺研究的学习课件免费下载 34次下载
- 半导体制造工艺教程的详细资料免费下载 210次下载
- 《基于Silvaco的半导体工艺与器件仿真傻瓜教程》-电子书籍.pdf 0次下载
- 半导体工艺技术 0次下载
- 半导体清洗工艺全集 190次下载
- 半导体器件制造工艺手册 134次下载
- 半导体硅工艺学电子书 119次下载
- 半导体工艺制程实用教程 224次下载
- 半导体微加工技术
- 半导体芯片封装工艺介绍 756次阅读
- 靶材的种类及制备工艺 靶材在半导体领域的应用 979次阅读
- 半导体的特征及工艺介绍 4170次阅读
- 半导体封装的分类和应用案例 1057次阅读
- 半导体制造之薄膜工艺讲解 3960次阅读
- 半导体制造工艺之光刻工艺详解 1747次阅读
- 半导体前端工艺：沉积——“更小、更多”，微细化的关键 712次阅读
- 半导体工艺之金属互连工艺 2827次阅读
- 半导体前端工艺之沉积工艺 1224次阅读
- 半导体封装工艺之模塑工艺类型 8003次阅读
- 详解半导体封装测试工艺 1418次阅读
- 使用虚拟实验设计加速半导体工艺发展 602次阅读
- 半导体知识 芯片制造工艺流程讲解 3.9w次阅读
- 半导体工艺的良品率测量点 2760次阅读
- 什么是半导体工艺制程，16nm、10nm都代表了什么 4.7w次阅读
上传资料赚积分下载排行
本周
- 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
- 0.00 MB | 1490次下载 | 免费
- 2单片机典型实例介绍
- 18.19 MB | 92次下载 | 1 积分
- 3S7-200PLC编程实例详细资料
- 1.17 MB | 27次下载 | 1 积分
- 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
- 4.28 MB | 18次下载 | 4 积分
- 5开关电源原理及各功能电路详解
- 0.38 MB | 10次下载 | 免费
- 6基于AT89C2051/4051单片机编程器的实验
- 0.11 MB | 4次下载 | 免费
- 7蓝牙设备在嵌入式领域的广泛应用
- 0.63 MB | 3次下载 | 免费
- 89天练会电子电路识图
- 5.91 MB | 3次下载 | 免费
本月
- 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
- 0.00 MB | 66304次下载 | 免费
- 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下载 | 免费
- 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下载 | 免费
- 5555集成电路应用800例(新编版)
- 0.00 MB | 33562次下载 | 免费
- 6接口电路图大全
- 未知 | 30320次下载 | 免费
- 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下载 | 免费
- 8开关电源设计实例指南
- 未知 | 21539次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935053次下载 | 免费
- 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
- 78.1 MB | 537791次下载 | 免费
- 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
- 未知 | 420026次下载 | 免费
- 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 5Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233045次下载 | 免费
- 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191183次下载 | 免费
- 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183277次下载 | 免费
- 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
- 未知 | 138039次下载 | 免费
工商网监
评论