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文章介绍采用软磁薄膜集成制造的平面传输线型射频（RF）噪声抑制器。该抑制器的纵向结构是由 ① 软磁薄膜（2mm×15mm×1.2μm）；② 聚酰亚胺膜（2μm厚）；③ 铜（Cu）箔（15.2m长×3μm厚）传输线；④ Ti/Cu 籽晶层；⑤ 玻璃基片（1mm 厚度）等组成的。共平面传输线用电镀铜的方法制备，其特性阻抗为 50Ω。信号线宽为50μm。软磁膜采用射频磁控溅射淀积法制造，基本软磁膜为 CoPdAlO 和 CoNbZr 合金材料。将这种磁膜集成式射频噪声抑制器与非集成射频噪声抑制器比较，以噪声抑制器的共振点信号衰减量为例，用 1μm 厚度的 CoNbZr 膜时，信号的衰减量从 -4dB 增大到 -30dB；用 CoPdAlO 膜（2μm 厚度）时，则从 -15dB 增大到 -57dB。可见其抑制电磁噪声的效果显著。
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