资料介绍
随着硅基光子集成技术的发展,需要在不影响光子芯片正常T作的情况下,对集成光路中各通道上的光强进行实时监测,来有效的调整光子集成系统的T作状态以达到最优系统性能。各种可在硅衬底上单片集成的新型监测光探测器(MPD)成为光电器件领域研究的热点,但不论这些MPD是基于何种吸收机制(表面态吸收、双光子吸收、锗吸收以及杂质能级缺陷态吸收),他们的共同特点是低速直流丁作,微量信号检测。也就是说,无论检测光路上光信号的调制速率高低,MPD上得到的只是光功率的平均值,同时进入MPD的光是微量的(例如,仅为检测光路光功率的万分之一,MPD上产生的光生电流也是微弱的(纳安量级)。MPD光生电流的放大成为后续电子电路中的重要部分。
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