如何设计一个高性能声表面波谐振器

　　为了开发移动电话LTE频段所需的高性能滤波器和双工器，需要一种质量更高、频率温度系数更低的声表面波谐振器旋转Y-X LiTaO3（LT）衬底的深度方向。采用有限元模拟方法，从声能分布、相速度、耦合系数和温度特性等方面，对低阻抗和高阻抗多层衬底在LT层下的特性进行了数值研究。经过多次计算，我们开发出了一种新型的多层结构，在薄的LT层下用SiO2作为低阻抗层，AlN作为高阻抗层。用这种新的衬底制作了一个单端口谐振器，实验结果表明，所研制的谐振器的BodeQ大于4000，TCF为-8ppm/°C，分别是传统42°YX-LT声表面波谐振器的四倍和五分之一小。应用该技术成功地研制出了一种具有极窄双工间隙的25波段双工器，具有极低的插入损耗、陡峭的截止特性和稳定的温度特性。

　　由于智能手机和视频内容服务的普及，移动通信对更高数据速率的需求继续增加。为了开发第五代移动通信系统（5G）以满足这一需求，移动通信的频带扩展和有效频带分配已经提高第三代合作伙伴计划（3GPP）标准和用于同时多个频带的接入系统（如载波聚合（CA）服务）已变得普遍〔2〕。最近的长期演进（LTE）频带往往在相邻频带之间以及频分的TX和RX频带之间具有更窄的频率间隔双工（FDD）。在这些频带中，除了2016年12月1日收到的下Munuscript外，滤波组件还要求通带形状的矩形度和过渡带的陡峭度；2017年****日接受。T、 Takai，H.Iwamoto，Y.Takamine，H.Yamasaki，T.Fuyutsume，H.Kyoya，T.Nakao，H.Kando，M.Hiramoto，T.Toi，M.Koshino和N.《插入损耗和高衰减》。终端射频部分的高温操作稳定性也非常重要，因为小型射频模块与功率放大器（PAs）集成，产生热量，通常用于手机。