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液晶显示器制造工艺流程基础技术
一．工艺流程简述：
前段工位：
ITO 玻璃的投入（grading） 玻璃清洗与干燥（CLEANING）
涂光刻胶（PR COAT） 前烘烤（PREBREAK）
曝光（DEVELOP） 显影（MAIN CURE）
蚀刻（ETCHING） 去膜（STRIP CLEAN） 图检（INSP）
清洗干燥（CLEAN） TOP 涂布（TOP COAT）
UV 烘烤（UV CURE） 固化（MAIN CURE）
清洗（CLEAN） 涂取向剂（PI PRINT）
固化（MAIN CURE） 清洗（CLEAN）
丝网印刷（SEAL/SHORT PRINTING） 烘烤（CUPING
FURNACE） 喷衬垫料（SPACER SPRAY） 对位压合
（ASSEMBLY） 固化（SEAL MAIN CURING）
1． ITO 图形的蚀刻：（ITO 玻璃的投入到图检完成）
A． ITO 玻璃的投入：根据产品的要求，选择合适的ITO 玻璃装
入传递篮具中，要求ITO 玻璃的规格型号符合产品要求，
切记ITO 层面一定要向上插入篮具中。
B． 玻璃的清洗与干燥： 将用清洗剂以及去离子水（DI 水）等
洗净ITO 玻璃，并用物理或者化学的方法将ITO 表面的杂
质和油污洗净，然后把水除去并干燥，保证下道工艺的加工
质量。
C． 涂光刻胶： 在ITO 玻璃的导电层面上均匀涂上一层光刻胶，
涂过光刻胶的玻璃要在一定的温度下作预处理：（如下图）
一．工艺流程简述：
前段工位：
ITO 玻璃的投入（grading） 玻璃清洗与干燥（CLEANING）
涂光刻胶（PR COAT） 前烘烤（PREBREAK）
曝光（DEVELOP） 显影（MAIN CURE）
蚀刻（ETCHING） 去膜（STRIP CLEAN） 图检（INSP）
清洗干燥（CLEAN） TOP 涂布（TOP COAT）
UV 烘烤（UV CURE） 固化（MAIN CURE）
清洗（CLEAN） 涂取向剂（PI PRINT）
固化（MAIN CURE） 清洗（CLEAN）
丝网印刷（SEAL/SHORT PRINTING） 烘烤（CUPING
FURNACE） 喷衬垫料（SPACER SPRAY） 对位压合
（ASSEMBLY） 固化（SEAL MAIN CURING）
1． ITO 图形的蚀刻：（ITO 玻璃的投入到图检完成）
A． ITO 玻璃的投入：根据产品的要求，选择合适的ITO 玻璃装
入传递篮具中，要求ITO 玻璃的规格型号符合产品要求，
切记ITO 层面一定要向上插入篮具中。
B． 玻璃的清洗与干燥： 将用清洗剂以及去离子水（DI 水）等
洗净ITO 玻璃，并用物理或者化学的方法将ITO 表面的杂
质和油污洗净，然后把水除去并干燥，保证下道工艺的加工
质量。
C． 涂光刻胶： 在ITO 玻璃的导电层面上均匀涂上一层光刻胶，
涂过光刻胶的玻璃要在一定的温度下作预处理：（如下图）
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