资料介绍
刻蚀
•光刻就是在光刻胶上形成图形
•下一步就是将光刻胶上的图形通过刻蚀转移到光刻胶下面的层上
•刻蚀工艺分为湿法和干法
刻蚀的品质
•刻蚀的速率,即单位时间刻蚀的厚度
•刻蚀速率的均匀性
•选择比,即对不同材料刻蚀速率的比率
•钻刻,即对光刻胶下材料的侧向刻蚀
•光刻就是在光刻胶上形成图形
•下一步就是将光刻胶上的图形通过刻蚀转移到光刻胶下面的层上
•刻蚀工艺分为湿法和干法
刻蚀的品质
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