资料介绍
静电式微开关硅悬臂梁的变形分析:介绍了一种计算微开关的硅悬臂梁在电场力作用下的变形的方法, 由于作用在梁上的载荷随着梁的变形而变化,用积分法计算存在相当困难,以下提出了一种计算变形的新方法:将梁分为m 个小段,则梁上的分布力可近似为m 个集中力,将初始均布载荷分成n 步,逐步加载,在每个载荷步后根据变形结果修正m 个集中力,同时增加一个载荷增量,作为下一步的载荷。只要m 和n 取到充分大,就可得到梁变形的精确结果。
关键词:悬臂梁; 变形; 增量法
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