MEMD技术的详细资料介绍

　　微机电系统（MEMS）是一种技术，其最一般的形式可以定义为使用微细加工技术制成的小型机械和机电元件（即设备和结构）。MEMS 器件的关键物理尺寸可能从尺寸范围下端的一微米以下到几毫米不等。同样，MEMS 装置的类型可以从没有运动元件的相对简单的结构到在集成微电子学的控制下具有多个运动元件的极其复杂的机电系统而变化。MEMS 的一个主要标准是至少有一些元件具有某种机械功能，无论这些元件是否可以移动。用于定义 MEMS 的术语在世界各地有所不同。在美国，它们主要被称为 MEMS，而在世界其他地区，它们被称为“微系统技术”或“微机械设备”。

　　尽管 MEMS 的功能元件是小型化的结构，传感器，致动器和微电子器件，但最值得注意的（也许是最有趣的）元件是微传感器和微致动器。微型传感器和微型执行器适当地归类为“换能器”，其定义为将能量从一种形式转换为另一种形式的设备。在微传感器的情况下，该设备通常将测量的机械信号转换为电信号。在过去的几十年中，MEMS 研究人员和开发人员已经针对几乎所有可能的感应方式（包括温度，压力，惯性力，化学物质，磁场，辐射等）展示了数量众多的微型传感器。值得注意的是，许多此类微型机械传感器已经展示了的表现超过了他们的宏观水平。也就是说，例如压力传感器的微加工版本通常胜过使用最精确的宏观水平加工技术制成的压力传感器。不仅 MEMS 器件的性能出色，而且其生产方法还利用了集成电路行业中使用的批量生产技术，这可以转化为较低的每器件生产成本，以及许多其他好处。因此，不仅可以实现恒星器件的性能，而且可以以相对较低的成本水平实现。毫不奇怪，基于硅的分立式微传感器在商业上得到了迅速的开发，这些设备的市场继续以快速的速度增长。最近，MEMS 研究与开发团体已经展示了许多微致动器，包括：用于控制气体和液体流量的微阀；光学开关和反射镜，用于重定向或调制光束；用于显示器的独立控制微镜阵列，用于许多不同应用的微谐振器，用于产生正流体压力的微泵，用于调节翼型上气流的微瓣以及许多其他产品。令人惊讶的是，即使这些微致动器非常小，它们也经常会在宏观水平上产生影响。也就是说，这些微型执行器所执行的机械功能远大于其尺寸所暗示的。