资料介绍
MEMS(微机电系统)技术的不断发展,目前已经广泛应用在生物、航空、医学、航天等多领域。MEMS传感器即微机电系统 (Micro-electroMechanicalSystems),是指精密机械系统和微电子电路技术结合发展出来的一项工程技术,它的尺寸一般在微米量级。
MEMS传感器想要成功主要看封装技术,包括SIP(系统级封装)、WLP(晶圆级封装)、三维硅穿孔(TSV)等技术,采用三 维堆叠技术,能够把微型化后的传感器机械部件和其他微电子组件集成,依据不同的应用来选择不同的封装形式。 对于大部分的MEMS传感器来说,想让它正常使用和发挥功效,就要通过内部可动微结构在适当范围内进行变形和位移来实 现,所以对MEMS进行模态测试就要让其振动,也就是需要进行激励。
MEMS传感器想要成功主要看封装技术,包括SIP(系统级封装)、WLP(晶圆级封装)、三维硅穿孔(TSV)等技术,采用三 维堆叠技术,能够把微型化后的传感器机械部件和其他微电子组件集成,依据不同的应用来选择不同的封装形式。 对于大部分的MEMS传感器来说,想让它正常使用和发挥功效,就要通过内部可动微结构在适当范围内进行变形和位移来实 现,所以对MEMS进行模态测试就要让其振动,也就是需要进行激励。
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