资料介绍
简介:Fabry - Perot (F - P)干涉仪是很多与波长相关的光学元器件的核心结构,通过研制基于MOEMS 技术的F - P 光开关,可以得到研制一大类MOEMS 选频器件的基本设计方法和基本工艺步骤。文章给出了能完全与现有IC 工艺相结合,采用Si,SiO₂和Si₃N4材料的多层介质结构的F - P 光开关的设计方法和设计尺寸及其光性能的模拟结果,为今后研制光开关以及结构更为复杂的滤波器等打下了坚实的基础。
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