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激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。广泛应用于光学、机械、电子等各种领域的测量。其中，平行度和垂直度的测量是激光干涉仪的重要应用之一。
传统的测量方法通常采用机械测量或光学测量，但这些方法存在着精度低、误差大、易受环境影响等缺点。而激光干涉仪具有高精度、高灵敏度、非接触性等优点，能够实现平行度和垂直度的高精度测量。
激光干涉仪平行度测量原理
平行度测量是在直线度测量的基础上而扩展的应用。平行度测量由平行轴的两组直线度测量组成，参见下面平行度测量光路原理构件图，其中直线度反射镜作为共同的参考基准，在测量过程中保持原位，且不进行调整。由第1运动轴的斜度θ1中减去第2运动轴的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。
平行度测量配置及应用
平行度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组（或长直线度镜组）、SJ6000静态测量软件等组件构成。Z轴的平行度测量需增添可调转向镜。
激光干涉仪垂直度测量原理
垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成，详见下面垂直度测量光路原理构件图，其中直线度反射镜作为共同的参考基准，在测量过程中保持原位，且不进行调整；光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中，允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差＝光学直角尺误差－斜度θ1－斜度θ2。
垂直度测量配置及应用
垂直度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组（或长直线度镜组）、垂直度镜组（含光学直角尺）、SJ6000静态测量软件等组件构成。
总之，激光干涉仪是一种强大的测量工具，可以广泛应用于各种领域的平行度和垂直度测量工作。它的出现为各种精密制造和科学实验提供了强有力的技术支持。
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