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集成电路工艺专题实验 Topic Experiments of Integrate Circuit Techniques
实验一 硅单晶(或多晶)薄膜的沉积………………………………………………………3
实验二 硅单晶外延层的质量检测与分析…………………………………………………7
实验三 热生长SiO2薄膜的制取及厚度测量………………………………………………13
实验四 光刻图形的制备及质量检测………………………………………………………18
实验五 P－N 结的制备及参数测量…………………………………………………………23
实验六 集成电路版图的计算机辅助设计…………………………………………………31
实验七 初缩光刻版的制备…………………………………………………………………37
实验八 真空的获得与真空镀膜……………………………………………………………43
实验九 薄膜质量检测………………………………………………………………………49
阅读材料 硅片的化学清洗…………………………………………………………………54
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