半导体仿真工具Silvaco TCAD学习资料教程免费下载

　　接触Silvaco TCAD仿真软件已经有很长时间了，这期间还熟悉了一下ISE TCAD。学习的过程中，老师、师兄姐和同学给了我极大的帮助。这本书的主旨就是希望提供-些对于Silvaco仿真的可资借鉴的经验。学习和使用Silvaco的时候各人的视角会不一样，虽然这本书只是介绍一些常用的仿真，例句也有限，但因为流程控制和语法都有相通的地方，完全可以参照本书和手册的说明灵活地建立仿真以及仿真--些本书未提及的特性。

　　写本书的另-个动力是想体验- 下ITEX在排版书籍上和word的不同。经过这次编排觉得各有优缺点。MIEX对排图片和表格这些浮动元素很费力。我在排此书的时候经常遇到图片和表格按照自动方式排的位置很差，和文字内容脱节很远，为此不得不处理图片，有时还将表格拆开等。如果各位遇到很脱节的地方还请见谅。MTEX的使用需要有很强的耐心和探索精神，也可以说是牺牲精神。不管是MS Ofice还是ETEX，总的目的是想内容通顺，阅读起来舒服，用什么工具就是“八仙过海，各显神通”了。

　　第一章仿真准备

　　这一章主要介绍TCAD的基本概念，DeckBuild的 主要组件以及DeckBuild的命令（extract，go，set和tonyplot），Silvaco文档的分 布和学习方法等。

　　1.1 认识Silvaco TCAD

　　TCAD就是Technology Computer Aided Design，指半导体工艺模拟以及器件模拟工具，世界上商用的TCAD工具有Silvaco公司的Athena和Atlas， Synopsys公 司的TSupprem和Medici以及ISE公司（已经被Synopsys公司收购）的Dios和Dessis。 Synopsys 公司最新发布的TCAD工具命名为Sentaurus。

　　1.1.1数值计算

　　计算机仿 真必须基于数值计算。Silvaco中 的数值计算是基于一系列的物理模型及其方程的，而方程中的某些量又用其他的方程来描述。然而实际的物理系统非常复杂，信息量也非常巨大，必须将其离散化，那么自然地半导体仿真应用上就基于网格计算。

　　网格计算：将半导体仿真区域划分成网格，在网格点处计算出希望得到的特性（如：电学性质，光学性质，工艺步骤的速率等等）。

　　数值计算必须考虑的问题：

　　●精确性（和网格密度、计算的步长疏密、算法和物理模型的选择等有关）

　　●计算速度（ 和网格密度、计算步长的疏密以及算法等有关）

　　●收敛性（和计算步长的疏密、初始值以及算法有关）

　　仿真计算时参数设置上需要在精确性、计算速度和收敛性之间取得折衷。网格点的密度和计算的精确度有关，但Silvaco中 的网格点总数是有限制的。请注意，网格点太多导致信息量太大，在仿真时会报错。