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电子发烧友网>电子资料下载>绝缘资料|化工资料>低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程

低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程

2009-10-20 | rar | 344 | 次下载 | 3积分

资料介绍

低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程:为揭示低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程及其机理,建立了同时考虑电子散射与电子输运的计算模型,综合Monte Carlo方法和有限差分法进行了数值模拟,获得了内部空间电荷、泄漏电流和表面电位随电子束照射的演化规律2 结果表明,入射电子因迁移、扩散效应会超越通常的散射区域产生负空间电荷分布,并经过一定的渡越时间后到达接地基板,形成泄漏电流,负带电暂态过程则随着泄漏电流的增加而趋于平衡2 在平衡状态下,泄漏电流随电子束能量和电流而增大;薄膜净负电荷量和表面电位随膜厚而增加、随电子迁移率的增大而降低,随着电子束能量的变化均会出现最大值。
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