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利用透射电子显微镜对压痕诱发GaAs中的塑性变形结构进行了研究。结果表明，压痕周围产生了由长臂位错和短臂位错组成的非均匀分布的玫瑰型位错组态和二次对称分布的孪晶结构。利用电子衍射技术对位错类型进行了分析。结果表明位错形态与Fran-Read位错的形核、运动和相互作用有关，而孪生过程与形变过程中扩展位错的产生与运动密切相关。
关 键 词 GaAs单晶; 压痕; 位错与孪晶; 电子显微镜
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