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介绍了一种基于质量流量混合法的实时动态配气系统.该系统采用了高精度的质量流量控制器,可用于配制各种低浓度的标准气体,以满足工业应用和科学研究中标准气体的需
求.
关键词: 质量流量混合法;质量流量控制器; 配气系统
Abstract:This paper introduces a realtime and dynamic gas confection system based on the
method of mass flow mix .This system applying high precision Mass Flow Controller(MFC) can be used for confecting kinds of low concentration standard gas, to supply standard gas for industry and science research .
Keywords: Method of mass flow mix; Mass Flow Controller(MFC);
Gas confection system
求.
关键词: 质量流量混合法;质量流量控制器; 配气系统
Abstract:This paper introduces a realtime and dynamic gas confection system based on the
method of mass flow mix .This system applying high precision Mass Flow Controller(MFC) can be used for confecting kinds of low concentration standard gas, to supply standard gas for industry and science research .
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