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微机电系统(MEMS)是一门新兴的交叉学科。MEMS 能够实现各类产品的微
型化、集成化、便携化，在诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍了
MEMS 产业化的意义，并用SWOT 法分析了中国MEMS 产业化的现状以及面临的
机遇与挑战。
关键词：MEMS；产业化；机遇
Abstract: Micro Electro-Mechanical System(MEMS) is a rising interdiscipline. MEMS
technology will be applied to various fields, as it makes more and more products
microminiaturized, integrated and portable. This paper summarizes the significance of
MEMS industrialization, and use SWOT method to analyze current situation, opportunity
& challenge of China MEMS industrialization.
Key: MEMS; Industrialization; Opportunity
微机电系统(MEMS)是指可批量生产的，集微传感器、微执行器、微结构、微
机械、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件于一体的能完成特定功能的微
系统。MEMS 是多学科交叉的前沿研究领域，它涉及微电子技术、机械技术、材
料科学与技术、自动控制技术、生物技术、物理与化学等学科与技术。
型化、集成化、便携化，在诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍了
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机械、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件于一体的能完成特定功能的微
系统。MEMS 是多学科交叉的前沿研究领域，它涉及微电子技术、机械技术、材
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mems
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