电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
本文以金属刻蚀去胶腔为背景，简述干刻清洗工艺开发和评价过程。针对实际应用中
的问题，展开讨论。通过实际案例分析,展示了干刻清洗工艺的应用价值。
关键字：干刻清洗Dry Clean； 金属刻蚀 Metal Etch；干刻 Dry Etch；
去胶腔 Ash Chamber；去胶速率：Ash Rate (AR)
The Evaluation And Application Of Dry Clean Process On Ash Chamber Of Metal Etch
Wang Qian (Shanghai Jiao Tong University)
(Shanghai Huahong NEC Electronics Limited Company, Shanghai 201206, China)
Abstract: Based on ash chamber of metal etch, this paper describes the full process of dry clean
development and evaluation. And the related issue among process application is also discussed.
Through the analysis of actual case, the worth of dry clean application is presented.
的问题，展开讨论。通过实际案例分析,展示了干刻清洗工艺的应用价值。
关键字：干刻清洗Dry Clean； 金属刻蚀 Metal Etch；干刻 Dry Etch；
去胶腔 Ash Chamber；去胶速率：Ash Rate (AR)
The Evaluation And Application Of Dry Clean Process On Ash Chamber Of Metal Etch
Wang Qian (Shanghai Jiao Tong University)
(Shanghai Huahong NEC Electronics Limited Company, Shanghai 201206, China)
Abstract: Based on ash chamber of metal etch, this paper describes the full process of dry clean
development and evaluation. And the related issue among process application is also discussed.
Through the analysis of actual case, the worth of dry clean application is presented.
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 斯丹麦德应用案例 | 干簧传感器在汽车油箱盖位置检测上的应用
- 40KHz超声波清洗换能器
- ICP刻蚀氮化镓基LED结构的研究
- 干法刻蚀工艺介绍 6次下载
- 向65nm工艺提升中的半导体清洗技术 43次下载
- PCB的工艺流程详细资料说明
- 如何使用MATLAB构建风险评价数学模型 24次下载
- CPU制造工艺之光刻蚀技术详解 17次下载
- 晶体硅太阳能电池刻蚀的作用及方法与刻蚀的工艺流程等介绍 25次下载
- 半导体清洗工艺全集 190次下载
- IC制造工艺
- 清洗作业完成后洁净度的检测方法
- 金属压力容器声发射检测及结果评价方法
- 微型腔单一亚波长金属狭缝的光波透射
- 评价数据的噪声清洗算法及其仿真实验
- 等离子刻蚀ICP和CCP优势介绍 3073次阅读
- 如何调控BOSCH工艺深硅刻蚀？影响深硅刻蚀的关键参数有哪些？ 1862次阅读
- 什么是刻蚀呢？干法刻蚀与湿法刻蚀又有何区别和联系呢？ 2198次阅读
- 半导体制造技术之刻蚀工艺 5248次阅读
- 等离子体清洗工艺的关键技术 等离子体清洗在封装生产中的应用 1415次阅读
- 半导体工艺之金属互连工艺 2827次阅读
- 半导体图案化工艺流程之刻蚀(一) 1309次阅读
- 金属湿法刻蚀 2965次阅读
- 外延沉积前原位工艺清洗的效果 745次阅读
- Si晶圆表面金属在清洗液中的应用研究 1125次阅读
- PCBA免清洗工艺管理的质量要求与控制措施 4186次阅读
- 两种基本的刻蚀工艺：干法刻蚀和湿法腐蚀 6.9w次阅读
- SOI高温压力传感器工作原理与制备工艺 9164次阅读
- 如何采用铜互连单大马士革工艺制作超厚金属铜集成电感的概述 1.9w次阅读
- 详细解读LED芯片的制造工艺流程 1.8w次阅读
上传资料赚积分下载排行
本周
- 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
- 0.00 MB | 1491次下载 | 免费
- 2单片机典型实例介绍
- 18.19 MB | 93次下载 | 1 积分
- 3S7-200PLC编程实例详细资料
- 1.17 MB | 27次下载 | 1 积分
- 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
- 4.28 MB | 18次下载 | 4 积分
- 5开关电源原理及各功能电路详解
- 0.38 MB | 11次下载 | 免费
- 6100W短波放大电路图
- 0.05 MB | 4次下载 | 3 积分
- 7基于AT89C2051/4051单片机编程器的实验
- 0.11 MB | 4次下载 | 免费
- 8基于单片机的红外风扇遥控
- 0.23 MB | 3次下载 | 免费
本月
- 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
- 0.00 MB | 66304次下载 | 免费
- 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下载 | 免费
- 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下载 | 免费
- 5555集成电路应用800例(新编版)
- 0.00 MB | 33562次下载 | 免费
- 6接口电路图大全
- 未知 | 30320次下载 | 免费
- 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下载 | 免费
- 8开关电源设计实例指南
- 未知 | 21539次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935053次下载 | 免费
- 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
- 78.1 MB | 537791次下载 | 免费
- 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
- 未知 | 420026次下载 | 免费
- 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 5Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233046次下载 | 免费
- 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191183次下载 | 免费
- 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183277次下载 | 免费
- 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
- 未知 | 138039次下载 | 免费
工商网监
评论