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用直接隧道栅电流在线表征PMOSFET 负偏压温度不稳定性
贾高升许铭真
（北京大学微电子所 100871）
摘要
本文提出了一种在线表征负偏压温度不稳定性（NBTI，negative bias temperature
instability）退化的方法——直接隧道栅电流表征法（DTGCM，DT Gate Current Method）。用这种方法可以得到NBTI 应力诱生在超薄栅氧化层中的缺陷密度（包括氧化层体陷阱密度和界面态密度），并得到PMOSFET器件阈值电压的漂移（ΔVth）信息。这种方法可以有效避免NBTI 恢复效应的影响。
关键词 超薄栅氧化层，PMOSFET， 负偏压温度不稳定性(NBTI)， 退化， 恢复效应
贾高升许铭真
（北京大学微电子所 100871）
摘要
本文提出了一种在线表征负偏压温度不稳定性（NBTI，negative bias temperature
instability）退化的方法——直接隧道栅电流表征法（DTGCM，DT Gate Current Method）。用这种方法可以得到NBTI 应力诱生在超薄栅氧化层中的缺陷密度（包括氧化层体陷阱密度和界面态密度），并得到PMOSFET器件阈值电压的漂移（ΔVth）信息。这种方法可以有效避免NBTI 恢复效应的影响。
关键词 超薄栅氧化层，PMOSFET， 负偏压温度不稳定性(NBTI)， 退化， 恢复效应
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