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电子发烧友网>电子资料下载>电子论文>半导体技术论文>向450毫米硅晶园进军的研究开发工作艰难起步

向450毫米硅晶园进军的研究开发工作艰难起步

2009-12-18 | rar | 344 | 次下载 | 2积分

资料介绍

经过 7 年合作开发,第一条300 毫米(12 英寸)生产线终于在2001 年投产。随后的几
年间,陆续又有数条300 毫米生产线投入生产。至今300 毫米生产线已经经历了三个技术节点,即130 纳米,90 纳米和65 纳米的考验。在技术上随着其它后续生产线的投产,以及不断的改进,完善,业已日渐成熟。在降低生产成本方面与200 毫米硅晶圆生产线相比已经显示出优势,可以降低百分之三十。当初为开发 300 毫米生产线所拟订的目标共有5 项,简单扼要列举如下:(1)与200 毫米硅晶圆相比每片晶圆所产出的芯片增加为原来的2。25 倍;(2)与200 毫米硅晶圆相比成本降低大约30%;(3)在全线范围内,全部直接材料,间接材料,以及在制品实现100%的自动化传送(即建立自动化的在线材料传送系统(AMHS);(4)对每批产品中(或传送盒内)的每一块晶圆可以分别采用不同加工工艺参数进行加工处理,并对其中的每一片进行追踪,实现信息获取与记录;(5)降低能源消耗,降低生产设施费用以及其它动力消耗,减少废弃物的排放量。截止到目前为止,除了第3 和第4 仍在完善之中,其它各项都已基本上实现。但是各项改进工作仍然在进行之中。
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