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为达到微小芯片粘贴系统高精度的性能要求，以二极管粘片机为例在系统分析微小芯片粘贴系统运动控制的各误差因素的基础上，提出了误差校正的方法。特别针对微小芯
片粘贴系统的高精度要求，采用了全闭环控制、视觉定位等先进技术。校正方法在具体工作中校正效果良好，对精度提高作用很大。
关键词：误差校正；运动控制；视觉定位；粘片机
Abstract: In order to fulfill high demand of precision in the microchip bonding system. Based on the analysis of every error in the system, the paper presents the method for error adjusting. And aiming especially at the high demand of precision, the advanced technology of full closed loop control and visual locating has been carried out. The method has been proved very efficient for adjusting in the practical project and greatly improves the precision of system.
Key words: error adjusting；movement control；visual locating；die bonder
片粘贴系统的高精度要求，采用了全闭环控制、视觉定位等先进技术。校正方法在具体工作中校正效果良好，对精度提高作用很大。
关键词：误差校正；运动控制；视觉定位；粘片机
Abstract: In order to fulfill high demand of precision in the microchip bonding system. Based on the analysis of every error in the system, the paper presents the method for error adjusting. And aiming especially at the high demand of precision, the advanced technology of full closed loop control and visual locating has been carried out. The method has been proved very efficient for adjusting in the practical project and greatly improves the precision of system.
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