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CMOS技术在毫米波电路中的应用越来越受到关注，比如60 CHz高速无线通信，24 G Hz和77 GHz汽车雷达等。传输线作为一种无源器件可以实现电感、电容以及阻抗变换器的功能，广泛应用于级间匹配、单端转差分变换和功率合成中。共面波导（CPW）是毫米波电路中最常使用的传输线结构，其不但能够方便地通过改变多个物理尺寸参数以及屏蔽层结构来调节性能参数，而且拥有良好的电流同路从而减小了模型建立的不确定性。不带屏蔽层结构的普通共面波导（CCPW）受到有耗硅衬底的影响，传输损耗较大，慢波共面波导（SCPW）被引入来解决这个问题，其结构中含有的由底层金属制成的屏蔽层将电场存储在屏蔽层与信号线之间，消除了硅衬底对CPW主体的影响。
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